“这是你们设计的方案?”
王中军将手里的文件翻的哗哗作响,边看边忍不住皱起了眉头来。
“用腐蚀剂的各向同性来制作探针,你们考虑过这里面的工作量吗?”
“使用可控制侵蚀速度的硝酸和氢氟酸,我们计算过可能的配比,至少要做上千组实验。”
钟大华的声音没有多少波动,昨晚吴牧提出这个思路之后,他们俩就已经通过代理公司搜集了相关的信息,但情况却有些出人意料。
在美国的数据库里,并没有与这个思路相关的技术。
事实上从八十年代起,湿法蚀刻在美国就已经属于落后技术了。随着制程技术的提高,现在业界主流已经是干法蚀刻更胜一筹,因为干法蚀刻的各向异性更好,芯片的成品率自然更高。
也就是说在湿法蚀刻这个路线上,业界并没有走到尽头就更换了路线。
美国人技术比较先进,八十年代之后制程技术发展到微米级,为了克服湿法蚀刻的缺点,应用材料公司直接推出了干法蚀刻的PVD技术,干脆另开炉灶了!干法蚀刻是用等离子体直接撞击晶圆,从化学反应变成了物理反应,干脆没有各向同性的问题了。
当然,后来干法蚀刻的物理性蚀刻也不能满足需求,于是业界又把湿法蚀刻捡回来了。但那也是利用离子蚀刻机将化学腐蚀剂离子化之后,在PECVD基础上搞的湿法蚀刻。
各向异性的问题,早在八十年代美国人就解决了。
如今钟大华和吴牧想要走回头路,其实是挑了一条充满荆棘的小路在走。
想要参考、借鉴,可根本就没有先例可循。这样一来,难免让人有些心理打鼓了。
不过钟大华脸上根本看不出怀疑和忐忑,面对上千组实验需要的工作量,仿佛就像在说下班去哪里买菜一样。
“上千组实验?我看可不够!”
王中军摇了摇头,哼了一声:“这是你们计算配比和时间控制需要的实验数量,但是你想过没有,我们要的不是一根普通的针尖,而是一根50纳米宽的针尖!除了时间、配比以外,甚至一丁点微弱的空气流动,都能让你的实验结果出现偏差。除此之外,温度、湿度、空气杂质,这些还是能想到的干扰,真正做实验的时候,你会发现更多想都没想过的干扰源会出现……这些都必须一一排除,一千组实验你能保证出结果吗?”
“我保证……不了。”
钟大华的声音仍然没有起伏,冷静的说道:“但硅探针本来就没有先例,甚至是原子力显微镜探针,我们自己都还不能生产。可这个项目只给了我们两个月时间,根本没有按部就班实现的可能。”
“说实话,我认为吴牧这个思路简直是为我们量身定做。湿法蚀刻做探针虽然没有成熟技术可以借鉴,但各种腐蚀剂的
请收藏:https://m.dhbks.cc
(温馨提示:请关闭畅读或阅读模式,否则内容无法正常显示)