技术路线既然确认,那么接下来就是如何将其实现了。
王中军作为实验室的负责人,并不需要事无巨细的全面参与进去,更多的还是掌握方向和协调与督促进度。
想通过原子力显微镜来刻画光栅,最大的拦路虎看来就是硅探针的问题了。
既然要求是100纳米分辨率的光栅,那么探针的针尖应该至少在50纳米。
所谓光栅,其实就是一排透明和不透明交替的宽度相等的玻璃片。它的分辨率,就是一组透明和不透明交替刻痕的总宽度。如果这一组的宽度是100纳米,那么不透明刻痕的宽度就应该是50纳米。
想划出一条50纳米宽的刻痕,当然就需要50纳米细的针尖了。
“我们所有的要求都集中在这跟探针上面,我们的刻痕是50纳米,但我们的分辨率却不能只有50纳米。”
王中军顶着一头有些散乱的头发,充血的眼睛看起来像是有些睡眠不足,但说话的声音却是中气十足。
他用一支笔,指着幕布上的投影,接着给实验室里的其他研究员布置任务::“探针材质必须是硅,我们的检材不会是绝对平滑,所以必须确保探针断裂也不会对材料造成污染。”
“它的形状应该是一个梯形,针尖是50纳米宽的平面,也就是500个硅原子的宽度。”
王中军想了想,补充了一句:“之前我认为用针尖直接敲击材料,这个思路是不合适的。硅敲击硅,我们无法保证探针上的硅完整性,也就是说敲击的宽度是不可预测的。所以直接敲击材料不合适,我们还需要用探针去除光刻胶,最后通过蚀刻和离子注入来实现光栅。”
“那么我们现在需要解决的就是三个问题,敲击探针、定位探针,以及满足各向异性的蚀刻。”
“敲击探针……老钟,这个就由你来负责。技术上基于硅的特性,可以先尝试单晶硅生长法。”
“定位探针我来做,这个暂时还没有什么思路。”
“蚀刻和离子注入,我考虑采用干法刻蚀技术,相关的刻蚀机和PVD设备应用与改造……这个我们实验室无法单独完成,秦释你来与相关其他实验室进行对接。”
“咱们实验室分三组,一组跟老钟,一组跟我,秦释你暂时先带一个研究生去做协调工作。”
……
王中军临危不乱,实验室也就有了主心骨。虽然要跨越式发展技术必然会面临巨大的困难,但一想到这个科研项目背后的意义,所有人的内心中都充满了必须倾力而为的使命感。
钟大华是个老研究员了,从光机所借调到新科之后,虽然没有什么特别突出的贡献,但他经手的每一个实验项目都从来没有出错过。
这五六年里,新科不仅为他涨了工资,而且还帮他把在长春的家人接过来安排了工作又
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